空調機器・クリーンシステム技術の組み合わせで、お客様の業種、プロセスにマッチしたクリーンルームシステムを構築し、幅広いお客様のニーズに対応したご提案をします。
天井全面から吹き出しだ空気を、グレーチング床に垂直に流し、クリーンルーム内に発生した塵埃を強制的に排除する方式です。設備費、運転費ともに高価になりますが、クリーンルーム全体を高い清浄度に維持できます。主としてクラス1～100以下のクリーンルームに使用されます。
天井に設けた吹出口からの空気を壁から吸い込み、循環により塵埃を排除します。
プレフィルタ・中性能フィルタ・準ＨＥＰＡフィルタ・ＨＥＰＡフィルタ・ＵＬＰＡフィルタ
クリーンルーム内への空調機の吹き出し装置で内部にＨＥＰＡフィルターを搭載しており、非層流方式のクリーンルームに適しています。
内蔵したプレフィルタと中性能フィルタで外気に含まれる塵・埃を除去した空気をクリーンルーム内に取り入れる装置です。
クリーンルームの壁面に取り付け室内圧力を一定に維持する装置です。室内圧力が高くなりすぎないように圧力を調整して室内の陽圧を保ちます。
クリーンルームに部品等を受渡しする機器です。コンベアを内蔵したものや、循環エアーで塵・埃を除去できるブロー付もあります。
床置形パッケージエアコンの上部に、ＨＥＰＡフィルタを内蔵したフィルタユニットを取り付けたもので、部屋の温度をコントロールしながら同時に清浄度クラス７～クラス８のクリーンルームを実現できる装置です。
上部にＨＥＰＡフィルタを設置し周囲に透明なビニールカーテンを垂らして外部と仕切り、ブース内が陽圧になるよう設計してある簡易型のクリーンルームです。
クリーンルーム内の局所エリアの清浄度を改善するのに使用します。
エアシャワー